Änderung der Bekanntmachung,
siehe Bundesanzeiger vom 22. Februar 2021
Die Vorhaben müssen relevante Beiträge zur Hightech-Strategie 2025 der Bundesrepublik Deutschland und zum Rahmenprogramm der Bundesregierung für Forschung und Innovation 2021 bis 2024: "Mikroelektronik, Vertauenwürdig und nachhaltig. Für Deutschland und Europa." leisten.